優點有:①曝氣池污泥濃度高,抗沖擊負荷能力強。適用于處理含有難降解有機物質的工業廢水,如果氧源充足、便宜,可用于處理生活污水或各種工業廢水。②曝氣時間短,曝氣池容積較小,占地面積少,基建投資少。③動力消耗低(比空氣曝氣至少節約60%以上),運行成本低。④純氧曝氣池一般采用多級封閉式,臭味不易擴散,周圍環境好,而且在冬季可起到保溫作用。⑤活性污泥沉降、濃縮、脫水性能較好,而且剩余污泥量比空氣曝氣法少三分之一以上。⑥自動控制水平較高,各操作階段和各運行參數都可通過計算機加以控制,管理方便。
缺點有:①不適于處理易揮發有機物含量較高的工業廢水,封閉的純氧曝氣池內可燃氣濃度較高時,有產生爆炸的可能,純氧曝氣池周圍要設為防火區。②自控儀表多,維護保養工作較多,且對運行管理人員的技術能力要求較高。③封閉的純氧曝氣池內熱量不易損失,而且沒有有效散熱的手段,因此夏季進水溫度較高時,一旦混合液的溫度升高,無法采取有效手段進行控制。④受氧源限制,如果沒有專業的空氣分離廠制造和供應足量氧氣、而是依靠污水處理場自身制備氧氣,會導致純氧曝氣法的運行成本上升、增加管理難度。