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半導體產業(yè)與現(xiàn)代化的生活和國家戰(zhàn)略息息相關,具有廣闊的市場空間和國際意義,隨著產業(yè)發(fā)展,行業(yè)內的資源利用和安全環(huán)保問題日益加劇,資源環(huán)保技術的更新已成為重要的產業(yè)優(yōu)化方向之一。
實際上,普遍應用于行業(yè)內中清洗和蝕刻等工藝中的高純度氨水,以及部分產線中廢氣噴淋廢液,所形成的的高濃度氨氮廢水,是目前主要的環(huán)保問題。
如常用的氨氮廢水處理方法有在高濃度氨氮廢水處理過程中常采用吹脫-生物法、吹脫-折點氯化法、化學沉淀-生物法等。
此外還有新型生物脫氮技術之短程硝化反硝化技術、厭氧氨氧化技術、膜技術之反滲透技術和電滲析法等技術。
但是由于水質指標的不同和工藝條件的限制,針對不同類別的廢水,采用的處理技術有很大差異,針對半導體行業(yè)氨氮廢水,海普開發(fā)的氨氮去除樹脂吸附產品可將廢水中的氨氮吸附在材料表面,實現(xiàn)有水體氨氮的脫除。
實驗處理效果表明采用吸附處理,廢水中的氨氮去除率穩(wěn)定在90%以上,出水中氨氮含量可以控制在10 mg/L以下。
此外,高濃度的氨氮對生物法硝化過程具有抑制作用,采用吸附法處理氨氮廢水,能將廢水中的氨氮高效去除,保證處理后的廢水含量在20 mg/L以下,以滿足企業(yè)的要求,降低廢水后續(xù)處理的壓力。
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